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新品發(fā)布 | Biolin Theta系列 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

2025-02-18

Biolin Theta系列 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

高端晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器


新品發(fā)布 | Biolin Theta系列 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x




我們很高興與您分享我們Theta系列高端光學(xué)接觸角儀的最新消息。

近期我司新推出Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款高端的晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī),可配置四個(gè)具有軟件控制、可水平移動(dòng)、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)。


支持晶圓接觸角測(cè)量的軟件功能

• 批量模式,用于對(duì)一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測(cè)量。

• 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,可進(jìn)行更深入的分析。


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(晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái))


應(yīng)用

• 研究表面清潔度

接觸角測(cè)量可以評(píng)估晶圓的清潔度,從而來評(píng)估表面污染物和殘留物的去除情況。

• 確定表面自由能

通過測(cè)量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對(duì)于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。

• 了解粘附性能

接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。

• 研究親水性/疏水性

測(cè)量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。

• 用于質(zhì)量控制

定期的接觸角測(cè)量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。




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